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秦自强
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
武汉工程大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
邓佩刚
武汉工程大学理学院
王宁
武汉工程大学理学院
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快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器
本发明公开了一种快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器,包括电源、精确电阻,以及感温部件;感温部件部分固定在固定部件上,固定部件为中间开孔的衬底片;感温部件包括多个弯折的测温铂薄膜电阻块,铂薄膜电阻块之间通过连接片连接,连接...
邓佩刚
秦自强
梅弘斌
文献传递
响应时间短的温度传感器
本实用新型公开了一种响应时间短的温度传感器,包括电源、精确电阻,以及感温部件;感温部件部分固定在固定部件上,固定部件为中间开孔的衬底片;感温部件包括多个弯折的测温铂薄膜电阻块,铂薄膜电阻块之间通过连接片连接,连接片部分固...
邓佩刚
秦自强
梅弘斌
文献传递
快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器
本发明公开了一种快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器,包括电源、精确电阻,以及感温部件;感温部件部分固定在固定部件上,固定部件为中间开孔的衬底片;感温部件包括多个弯折的测温铂薄膜电阻块,铂薄膜电阻块之间通过连接片连接,连接...
邓佩刚
秦自强
梅弘斌
快速动态测温的MEMS温度传感器设计和特性研究
针对一些某一时间内温度变化迅速、剧烈的,如汽车发动机点火瞬间、压缩机活塞室气体在压缩过程的温度变化、内燃机燃烧室的壁面以及火箭尾部喷嘴壁面等这些需要快速测温的场所,本文结合快速响应温度传感器的相关技术,设计出一种基于微机...
秦自强
关键词:
微机电系统
温度传感器
快速响应
一种两级微桥结构快速测温微型传感器的研制
2016年
设计了一种新型薄膜热电阻温度传感器.传感器感温结构由基片(Si)/绝缘层(SiO_2)/感温部(Pt)组成,Pt薄膜片以悬空的微桥连接方式搭接在SiO_2片上,SiO_2片也以同样的方式搭接在Si片上,以此构成两级微桥机构.较之传统温度传感器,该感温部件采用悬空布置结构可使测温过程中的热损失大为减少,并能保证温度传感器热响应的线性度和可靠性.通过ANSYS有限元软件仿真Pt薄膜片在不同厚度SiO_2片下的温度分布情况.当SiO_2片厚度为2μm,该传感器热响应时间常数达到最小的10 ms,与SiO_2片厚度为5μm和10μm相比其时间常数减小了50%以上.研究结果表明:在温度测量过程中,SiO_2片厚度对感温的Pt薄膜片热损失影响很大,在设计中应尽可能减小SiO_2片厚度.
秦自强
王宁
邓佩刚
关键词:
温度传感器
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