李梦周
- 作品数：26 被引量：20H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
- 基于椭球面反射镜的变孔径环形光束产生装置
- 本发明基于椭球面反射镜的变孔径环形光束产生装置属于远场光学显微照明领域；该装置包括同轴设置的圆柱套筒、固定盘、物镜、针孔、环形光阑和椭球面反射镜；射到物镜上，汇聚到针孔，从椭球面反射镜的远焦点出射，经过椭球面反射镜反射后...
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- 基于椭球面反射镜的全内反射荧光显微成像装置
- 本发明基于椭球面反射镜的全内反射荧光显微成像装置属于光学显微照明领域；该装置采用了由遮光片调制的环形光，经过照明物镜聚焦后发散，通过椭球面反射镜反射后，光线聚焦在椭球面反射镜第二焦点处，产生了在椭球面第一焦点处的聚焦的大...
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- 一种采用光学显微方式测量沟槽样品深度的方法
- 一种采用光学显微方式测量沟槽样品深度的方法，涉及光学显微测量领域，具体涉及一种沟槽样品深度的方法。本发明为了解决现有的测量沟槽样品深度的方法存在精度较低的问题。本发明首先采用光学显微方式获得沟槽样品的轮廓数据，并确定沟槽...
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- 双变径式椭球面反射镜全内反射荧光显微成像装置
- 本发明双变径式椭球面反射镜的全内反射荧光显微成像装置属于光学显微照明领域；该装置采用了由光阑和遮光片调制的环形光，经过椭球面反射镜的反射后，产生了在椭球面反射镜第一焦点处的聚焦的大顶角空心锥光束，进而实现了全内反射荧光成...
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- 基于差动结构光的测量微观光滑曲率样品的装置和方法
- 基于差动结构光的测量微观光滑曲率样品的装置和方法属于光学显微成像领域。本发明利用激光器经过准直镜出射的平行光，再经过一维正弦光栅得到经过调制的条纹，将条纹经过二向色镜、管镜和物镜成像到表面镀膜的光滑自由曲面样品上。使样品...
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- 基于椭球面反射镜的全内反射荧光显微成像装置
- 本发明基于椭球面反射镜的全内反射荧光显微成像装置属于光学显微照明领域；该装置采用了由遮光片调制的环形光，经过照明物镜聚焦后发散，通过椭球面反射镜反射后，光线聚焦在椭球面反射镜第二焦点处，产生了在椭球面第一焦点处的聚焦的大...
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- 光学显微三维测量解耦合准则被引量：10
- 2017年
- 光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。
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- 单轴步进对向光学刀口装置
- 本发明单轴步进对向光学刀口装置属于光学显微技术与光学精密测量技术领域；该装置包括底座、设置在底座上的电机、通过联轴器连接电机转轴的丝杠，与丝杠位于同一水平面、平行设置在丝杠旁边的导杆，能够沿导杆运动的第一滑块和第二滑块，...
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- 扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法（英文）被引量：11
- 2019年
- 扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。
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- 关键词：计量学扫描探针显微镜
- 基于椭球反射镜的穿透深度可调TIRF显微镜与方法
- 本发明基于椭球反射镜的穿透深度可调TIRF显微镜与方法属于光学宽场显微成像领域，该装置由基于锥反射镜的环形平行光束发生光路、基于椭球反射镜的照明光路和普通荧光显微成像光路组成，该方法通过调整两互补锥反射镜间距离，实现样品...
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