郭兴军
- 作品数：7 被引量：12H指数：2
- 供职机构：太原理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省科技重大专项山西省青年科技研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 基于静电斥力和引力混合驱动的射频MEMS开关
- 本发明提出了一种静电斥力和引力混合驱动的新型RF？MEMS开关，是一种新型的电容式微机械开关。该开关沿传输线方向等间距的设置了三个固定电极在传输线的下方。当对上下方的固定电极同时施加工作电压时，下方的固定电极在可动桥膜周...
- 赵清华李刚于洋张文栋李朋伟郭兴军程超群
- 文献传递
- 基于静电斥力的电容式射频MEMS开关
- 本发明提出了一种基于静电斥力驱动的电容式RF？MEMS开关，涉及微机电系统（MEMS）领域，特别是射频微机电开关（RF？MEMS）的应用。该发明设计的射频微机电开关包括可动桥膜部分、固定驱动电极部分和传输线基底部分，工作...
- 李刚郭丽芳李朋伟胡杰张文栋桑胜波郭兴军
- 文献传递
- 基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究被引量：10
- 2014年
- "粘连"失效常见于电容式静电驱动MEMS器件,通过建立"粘连"失效模型分析得出静电引力驱动机制导致的介质充电是其失效的根本原因。为消除介质充电问题,提出了一种新型的基于静电斥力的驱动机制:通过向固定极板施加电压,利用驱动结构周围形成的不均匀电场在可动极板垂直方向上产生合力,使可动极板向上弯曲运动。结合静电斥力典型驱动结构,通过COMSOL Multiphysics仿真分析结构尺寸、驱动电压与极板最大形变量的关系。仿真结果表明:在静电斥力结构中,驱动电压与可动极板长度呈线性关系,但与垂直间距呈非线性关系,会出现突降。此外,在结构尺寸固定的情况下,驱动电压与极板最大形变量几乎呈线性关系,这与静电引力驱动中无法通过改变驱动电压线性控制形变量不同。
- 郭兴军李朋伟张文栋胡杰李刚
- 静电斥力RF MEMS开关的设计与优化
- 射频微机电(RF MEMS)开关以其体积小、重量轻、响应速度快、易与IC电路集成等优点，成为RF MEMS领域中被广泛研究的一类器件。RFMEMS开关广泛应用在卫星通讯、雷达、汽车电子等领域。在RF MEMS开关中，研究...
- 郭兴军
- 关键词：优化设计静电驱动有限元分析
- 文献传递
- 基于静电斥力和引力混合驱动的射频MEMS开关
- 本发明提出了一种静电斥力和引力混合驱动的新型RFMEMS开关，是一种新型的电容式微机械开关。该开关沿传输线方向等间距的设置了三个固定电极在传输线的下方。当对上下方的固定电极同时施加工作电压时，下方的固定电极在可动桥膜周围...
- 赵清华李刚于洋张文栋李朋伟郭兴军程超群
- 文献传递
- 电容式RF MEMS开关介质层电荷积累消除方法被引量：4
- 2013年
- 电容式RF MEMS开关是下一代高频通信领域中的关键部件。首先,介绍了电容式RF MEMS开关的结构、工作原理以及失效机理。介质充电是制约电容式RF MEMS开关长期可靠性的主要原因,介质膜中的陷阱以及施加在介质膜中高电场是引起介质层中电荷积累的根源。在此基础上,归纳总结了前期减少电荷积累所采用的不同途径,如改善介质层、降低驱动电压、优化驱动波形、优化结构设计和采用非静电的驱动方式等,并举例说明了这些途径的优缺点,最后讨论并指出了未来消除电荷积累的可行性研究方向。
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- 关键词：MEMS开关电场
- 基于静电斥力的电容式射频MEMS开关
- 本发明提出了一种基于静电斥力驱动的电容式RFMEMS开关，涉及微机电系统（MEMS）领域，特别是射频微机电开关（RFMEMS）的应用。该发明设计的射频微机电开关包括可动桥膜部分、固定驱动电极部分和传输线基底部分，工作时在...
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