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邹龙庆

作品数：7 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇有效信息
  • 3篇数据帧
  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇硬件
  • 2篇硬件设备
  • 2篇阅读性
  • 2篇数据格式
  • 2篇通信
  • 2篇通信层
  • 2篇通信模式
  • 2篇耦合性
  • 2篇逻辑层
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路制造
  • 2篇归一化
  • 2篇仿真
  • 2篇半导体
  • 1篇字符
  • 1篇字符提取

机构

  • 6篇清华大学
  • 2篇重庆邮电大学

作者

  • 7篇邹龙庆
  • 5篇高士云
  • 5篇徐华
  • 4篇王巍
  • 4篇李搏
  • 2篇汤彩霞
  • 2篇邓俊辉
  • 2篇徐敏浩
  • 1篇贾培发
  • 1篇李垒

传媒

  • 1篇电子质量
  • 1篇电子科技大学...

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
用于解析半导体设备的通信命令的方法及系统
本发明提出一种用于解析半导体设备的通信命令的方法及系统，其中，方法包括以下步骤：根据通信命令的格式，设置提取字符和解析方式，其中，所述解析方式包括第一解析方式和第二解析方式；根据所述提取字符提取所述通信命令中的有效信息，...
徐华王巍李搏邹龙庆高士云
文献传递
一种动态协议的配置与解析方法及装置
本发明提出一种动态协议的配置与解析方法，包括如下步骤：配置并保存动态协议的命令的有效信息提取方式和命令的解析方式；根据所述有效信息提取方式提取所述命令的有效信息；根据所述命令的解析方式解析所述命令的有效信息，并根据解析结...
徐华王巍李搏邹龙庆高士云
基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计被引量：3
2012年
设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。
王巍邹龙庆徐华李搏贾培发李垒
关键词：半导体工艺设备
一种集成电路制造装备通用控制系统
本发明提出一种集成电路制造装备通用控制系统，包括：应用层装置，用于接收来自工厂主机的主机控制命令以及用户的配置信息；逻辑层装置，用于接收来自应用层装置的主机控制命令和配置信息，并根据配置信息和主机控制命令生成任务指令；通...
徐华高士云邓俊辉邹龙庆徐敏浩汤彩霞
文献传递
一种动态协议的配置与解析方法及装置
本发明提出一种动态协议的配置与解析方法，包括如下步骤：配置并保存动态协议的命令的有效信息提取方式和命令的解析方式；根据所述有效信息提取方式提取所述命令的有效信息；根据所述命令的解析方式解析所述命令的有效信息，并根据解析结...
徐华王巍李搏邹龙庆高士云
文献传递
一种集成电路制造装备通用控制系统
本发明提出一种集成电路制造装备通用控制系统，包括：应用层装置，用于接收来自工厂主机的主机控制命令以及用户的配置信息；逻辑层装置，用于接收来自应用层装置的主机控制命令和配置信息，并根据配置信息和主机控制命令生成任务指令；通...
徐华高士云邓俊辉邹龙庆徐敏浩汤彩霞
基于SEMI标准的集成电路制造装备控制系统设计
2012年
随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统定义了SEMI标准中规定的控制模型与状态模型及其他操作,能够满足实际控制需要与SEMI标准的要求。
邹龙庆
关键词：控制系统
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