刘国良
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省“青蓝工程”资助基金机械系统与振动国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 多工步制造过程的变异流研究进展被引量：2
- 2010年
- 总结多工步制造过程中变异流理论相关研究的成果。阐述变异流理论研究的起源,并将该理论的发展过程划分为两个阶段:多种技术的探索和发展阶段;统一理论的形成和完善阶段。基于状态空间模型的变异流理论利用状态空间法,把产品的质量特征和过程参数联系起来,以描述质量特征变异在各个工步中的传递过程,该理论能有效解决复杂多工步制造过程的传感器布局、制造质量诊断、制造过程优化等系统设计和制造监控中的质量控制问题。最后,结合变异流研究发展趋势,指出变异流理论有待解决的四个重要问题。
- 张志胜何博侠史金飞刘国良张佳阳刘飏
- 关键词：状态空间模型
- 半导体制造过程的多工序协同控制模型被引量：2
- 2010年
- 针对半导体制造过程的多工序质量控制,提出一种协同控制模型.该模型由目标优化、设备选择和设备控制3层组成.目标优化层利用目标优化模型对下游关键工序参数的目标值进行优化,补偿上游工序偏差对产品质量特征的影响;设备选择层综合考虑设备性能、生产时间以及设备的可利用性,选择处于最佳状态的设备完成相应的工序操作;设备控制层对选定的设备进行Run-to-Run控制,降低产品批次间的差异.从某半导体制造车间采集多道关键工序的测试数据,建立协同控制模型.通过基于生产数据的仿真,证实协同控制模型能够改善产品质量,提高设备效能和生产效率.
- 刘国良何博侠张志胜史金飞
- 关键词：半导体制造协同控制
