蒋攀
- 作品数:3 被引量:4H指数:2
- 供职机构:重庆大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术更多>>
- 制备工艺参数对TiN_x/Ag/TiN_x低辐射膜性能的影响被引量:2
- 2010年
- 采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积了TiNx/Ag/TiNx低辐射膜,研究了制备工艺参数对低辐射膜光学性能的影响以及低辐射膜的耐腐蚀性能。结果表明,TiNx薄膜可对膜系起到很好的保护作用,当膜系的TiNx保护层厚度为32nm、内层TiNx膜厚为16nm(氮气流量为55sccm)、Ag层厚度为16nm时,制备的低辐射膜系具有优良的透过率、低辐射性能和耐腐蚀性能。
- 蒋攀黄佳木郝晓培董思勤
- 关键词:低辐射透过率
- TiN/_x//Ag//TiN/_x低辐射膜的制备及性能研究
- 建筑门窗的能耗约占到建筑物全部热损失的50/%,因此减少玻璃窗的热损失对建筑节能具有非常重要的意义。由于低辐射玻璃比较高的可见光透过率,能保证室内有良好的采光,其对远红外也有很好的反射率,有很的节能效果,可以有效地减少采...
- 蒋攀
- 关键词:低辐射耐腐蚀
- 文献传递
- TiN_x/Ag/TiN_x复合膜的光学性能被引量:3
- 2010年
- 用磁控溅法在载波片上制备了TiNx/Ag/TiNx复合膜。采用X射线衍射、X射线光电子能谱(XPS)研究了复合膜的晶体结构和TiNx薄膜的化学成分;用紫外-可见分光光度计分析了氮气流量、各层膜膜厚对复合膜可见光透射率的影响。研究表明,TiNx薄膜为非晶态,Ag膜为晶态;TiNx薄膜提高了复合膜的远红外反射率,且其表面存在大量Ti-O键;复合膜的可见光透射率随着氮气流量的增加而变大,随着Ag膜厚度的增加先增后减。当氮气流量为55cm3/s,膜层构造为TiNx(16nm)/Ag(16nm)/TiNx(32nm)时,复合膜在550nm处的可见光透射率达到85%,远红外反射率达到92%,辐射率为0.0925,具有优异的低辐射玻璃光学性能。
- 黄佳木蒋攀董思勤
- 关键词:薄膜光学低辐射玻璃复合膜光学性能