2024年12月25日
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崔荣
作品数:
6
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
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合作作者
李彬
中国科学院半导体研究所
吕倩倩
中国科学院半导体研究所
尹伟红
中国科学院半导体研究所
杨晓红
中国科学院半导体研究所
韩勤
中国科学院半导体研究所
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作者
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韩勤
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6篇
吕倩倩
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崔荣
6篇
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尹冬冬
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2014
1篇
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一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器
本发明公开了一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器(APD),该雪崩光电探测器包括:衬底;形成于衬底之上的单模传输光波导,用于实现匹配光斑在其中低损耗单模传输,并使光渐渐向上消逝场耦合进入光匹配层;形成于单模传输光波导之上的...
崔荣
杨晓红
李彬
尹伟红
吕倩倩
韩勤
文献传递
SOI波导与InGaAs/InP光电探测器的集成
被引量:4
2014年
成熟的CMOS技术可制备无源光学器件,但高效光源和高性能光探测仍需要III^V族半导体材料。综述了近期III^V族外延片与SOI(silicon-on-insulator)波导集成的键合技术,按键合材料的不同分为无机和有机材料键合。着重分析了各种InGaAs/InP光电探测器与SOI波导集成的光耦合方案,并对其优缺点进行对比。同时给出设计的一种倏逝波耦合的InGaAs/InP光电探测器,用时域有限差分(FDTD)法对器件光学特性进行了模拟,以SOI上有机键合的方式,获得95%的探测器吸收效率,表明该SOI波导集成的光电探测器可实现小体积、低损耗及高响应度的光探测,符合片上光互连系统的要求。
崔荣
杨晓红
吕倩倩
尹冬冬
尹伟红
李彬
韩勤
关键词:
探测器
键合技术
InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法
本发明提供一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法,所述InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底的中间部位,其形状为铲子形,一端为铲子的头部,另一端为柄部;铲形头部的前...
吕倩倩
韩勤
崔荣
李彬
尹伟红
杨晓红
文献传递
一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器
本发明公开了一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器(APD),该雪崩光电探测器包括:衬底;形成于衬底之上的单模传输光波导,用于实现匹配光斑在其中低损耗单模传输,并使光渐渐向上消逝场耦合进入光匹配层;形成于单模传输光波导之上的...
崔荣
杨晓红
李彬
尹伟红
吕倩倩
韩勤
文献传递
InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法
本发明提供一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法,所述InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底的中间部位,其形状为铲子形,一端为铲子的头部,另一端为柄部;铲形头部的前...
吕倩倩
韩勤
崔荣
李彬
尹伟红
杨晓红
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石墨烯的低折射率差波导调制器及制备方法
一种石墨烯电吸收低折射率差波导调制器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底上;一波导芯层,其制作在下包层上的中间部位,形成脊形结构;一ITO透明电极,其制作在波导芯层上及两侧,并覆盖暴露的下包层的上表面;一下绝缘介质层,...
尹伟红
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