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翁邦英

作品数：21 被引量：12H指数：2
供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信交通运输工程航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇文化科学

主题

  • 8篇芯片
  • 7篇石英
  • 6篇加速度
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇速度传感器
  • 5篇敏感元件
  • 4篇音叉
  • 4篇陀螺
  • 4篇挠性
  • 4篇加速度计
  • 3篇应力
  • 3篇谐振
  • 3篇谐振式
  • 3篇连接桥
  • 3篇角速度
  • 3篇角速度传感器
  • 3篇传感器芯片
  • 2篇电场

机构

  • 20篇中国电子科技...
  • 1篇四川压电与声...
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 21篇翁邦英
  • 16篇林日乐
  • 11篇林丙涛
  • 10篇谢佳维
  • 10篇赵建华
  • 9篇李文蕴
  • 6篇张巧云
  • 6篇蒋昭兴
  • 5篇周倩
  • 4篇满欣
  • 3篇徐洲
  • 2篇董宏奎
  • 1篇王瑞
  • 1篇丁毅
  • 1篇张巧云
  • 1篇马晋毅
  • 1篇赵建华
  • 1篇王清亮
  • 1篇朱振忠
  • 1篇杜波

传媒

  • 2篇压电与声光
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇中国惯性技术...

年份

  • 1篇2022
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法
本发明涉及一种石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法，它是将光刻后的石英晶体放入腐蚀液中，在60℃-95℃温度条件下对石英晶体进行化学刻蚀，刻蚀时间为10-20小时；腐蚀液由水、氢氟酸和氟化铵混合而成，水、氢氟酸和氟化...
张巧云林日乐翁邦英周倩谢佳维
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高性能石英MEMS陀螺
林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
关键词：
关键词：陀螺
一种微型三维叠装的MEMS谐振器件的制造方法
本发明公开了一种微型三维叠装的MEMS谐振器件的制造方法，微型三维叠装的MEMS谐振器件包括外壳、盖帽及芯片支架，谐振芯片通过固定部安装在芯片支架上且使谐振梁悬空，芯片支架安装在外壳内壁上且与外壳电气连接，外壳内底面设有...
林日乐谢佳维王伟赵建华翁邦英李文蕴罗华蒋昭兴
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闭环控制式加速度计
本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
林丙涛赵建华林日乐张巧云董宏奎翁邦英徐洲李文蕴谢佳维满欣周倩
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双端音叉角速度传感器芯片
本实用新型公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接...
林丙涛蒋昭兴翁邦英
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开孔式晶体芯片
本实用新型公开了一种开孔式晶体芯片，包括由两个平行谐振臂组成的音叉结构和安装区，其特征在于：在安装区设有隔离孔，所述隔离孔采用湿法腐蚀工艺完全蚀穿，形成沿Z轴即厚度方向贯穿上下表面的通孔。本实用新型在晶体芯片安装区加工出...
林日乐李文蕴谢佳维满欣赵建华翁邦英
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一种双端音叉角速度传感器芯片
本发明公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的...
林丙涛蒋昭兴翁邦英
石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析被引量：1
2013年
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了其失效模式。试验结果验证了分析的准确性,分析结果可作为改进敏感器件可靠性的依据。
林日乐赵建华林珂满欣李文蕴周倩翁邦英
关键词：石英微机械陀螺可靠性
一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法
本发明公开了一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法，采用与谐振芯片热膨胀系数相同材料制造芯片支架，并通过所述芯片支架将谐振芯片固定安装在MEMS谐振器件的封装外壳内，然后对封装外壳进行密封加工，完成EMS谐振器件的制造。...
林日乐谢佳维赵建华翁邦英李文蕴徐洲
一种石英振梁加速度计
本实用新型公开了一种石英振梁加速度计，包括加速度敏感元件，所述加速度敏感元件由位于同一平面的U型质量块、振梁、第一挠性桥、第二挠性桥、第一连接块、第一连接梁、隔离框、第二连接梁、第二连接块、第一固定块和第二固定块构成。在...
林丙涛林日乐翁邦英
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