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MEMS微构件动态特性测试激励装置特性研究: MEMS微构件动态特性测试技术，主要包括振动激励、振动测试和模态分析三个方面，激励是实现动态特性测试的基本环节。通过查阅文献，综述了目前应用于MEMS微构件动态特性测试的各种激励技术，并通过比较分析各种激励技术的特点，确...; 杨洋; 关键词：动态特性测试压电陶瓷驱动电源; 文献传递

MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法被引量：8: 2008年; 在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用.目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法,根据实现激励的方式不同,归纳为三类:利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法,具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点,并对各种激励方法的特点进行了比较和分析.; 王晓东杨洋佘东生王涛王立鼎

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杨洋