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孙红光
作品数:
3
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院电工研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
李艳秋
中国科学院电工研究所
尚永红
中国科学院电工研究所
于红云
中国科学院电工研究所
苏波
中国科学院电工研究所
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机构
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中国科学院
作者
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苏波
3篇
于红云
3篇
尚永红
3篇
李艳秋
3篇
孙红光
传媒
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传感技术学报
年份
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2012
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2008
1篇
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非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析
被引量:6
2008年
将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度。根据优化设计,外加压力在0.2~1.4×10^5Pa间变化时,电容值在0.0251~0.0281pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在XY面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%。因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性。
尚永红
李艳秋
于红云
孙红光
苏波
关键词:
敏感元件
MEMS
一种集成化晶硅太阳电池及其制造方法
一种集成化晶硅太阳电池及其制造方法,其特征在于,太阳电池为背接触太阳电池结构,其电极均处于电池背面,太阳电池栅线电极与集成电路处于同一侧。太阳电池的部分结构能够与集成电路一起基于标准集成电路制造工艺来完成,并在此流片的基...
孙红光
李艳秋
尚永红
于红云
苏波
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一种集成化晶硅太阳电池及其制造方法
一种集成化晶硅太阳电池及其制造方法,其特征在于,太阳电池为背接触太阳电池结构,其电极均处于电池背面,太阳电池栅线电极与集成电路处于同一侧。太阳电池的部分结构能够与集成电路一起基于标准集成电路制造工艺来完成,并在此流片的基...
孙红光
李艳秋
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