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一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法: 本发明公开了一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法，属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及一种柔性电热驱动微夹钳及其制作工艺方法。微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由SU-8胶结构层和上、下电极...; 褚金奎张然陈兆鹏

一种SU-8胶微力传感器的制作方法: 本发明公开了一种SU-8胶微力传感器的制作方法，属于微机电系统技术领域中的微传感器。其特征包括以下步骤：采用硅作为衬底，Omnicoat胶为粘结层和牺牲层，第一次曝光显影制作出SU-8胶结构体，然后进行溅射，第二次曝光显...; 褚金奎陈兆鹏张然; 文献传递

一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法: 本发明一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法，属于纳米压印技术领域中的纳米压印模板。该方法包括以下步骤：利用原始模板对柔性基底IPS进行压印，复制纳米图形；在柔性基底IPS上有纳米图形的一面溅射一层金属层；将溅射有金属层...; 褚金奎王海祥张然陈兆鹏; 文献传递

具有三层结构的SU-8胶V形微电热驱动器被引量：10: 2012年; 为解决SU-8胶微电热驱动器在工作过程中存在平面外运动的问题,提出了一种具有铜-SU-8胶-铜三层对称结构的新型SU-8胶V形微电热驱动器。采用刚度矩阵方法建立了包含被驱动结构刚度的微电热驱动器力学模型,并针对一种柔性微夹钳,利用该模型对微电热驱动器进行了几何参数设计。利用Ansys仿真软件对所设计微驱动器进行了分析,仿真结果验证了所建模型的合理性。提出了一种新的MEMS加工工艺来制作三层结构微电热驱动器,并测试了它的性能。结果表明,实验结果与仿真结果相差不大,在150mV驱动电压下,所设计微驱动器温度仅升高约32.93°C,并对微夹钳产生约2.5μm的输入位移,使微夹钳产生126μm的钳口距离改变量。微驱动器仅消耗大约30.35mW的功率,钳口的平面外运动小于500nm。最后,利用微电热驱动器驱动的微夹钳成功地对一个长1.2mm,宽135μm,厚50μm的SU-8胶材料微型零件进行了微操作实验,实验证明了微驱动器实际性能基本满足设计要求。; 张然褚金奎王海祥陈兆鹏; 关键词：SU-8胶

一种钳口平行张合的柔性电热微夹钳: 本发明一种钳口平行张合的柔性电热微夹钳属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及钳口是平行张合的柔性电热微夹钳。微夹钳具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，且左右结构完全对称。驱动部分中，驱动位移杆和Λ形或V...; 褚金奎张然张成王文静陈兆鹏; 文献传递

集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作被引量：3: 2011年; 由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能测试。实验结果表明:设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有较好的线性度,力灵敏度为0.24mV/μN,测量误差为4.06%。该微力传感器可以满足对微小力的测量,相对于硅材料的微力传感器,其制作工艺更加简单,周期更短。由于SU-8胶的生物兼容性好,该传感器在生物医学研究领域有着很好的应用前景。; 褚金奎陈兆鹏张然; 关键词：SU-8胶微力传感器悬臂梁

一种钳口平行张合的柔性电热微夹钳: 本发明一种钳口平行张合的柔性电热微夹钳属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及钳口是平行张合的柔性电热微夹钳。微夹钳具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，且左右结构完全对称。驱动部分中，驱动位移杆和Λ形或V...; 褚金奎张然张成王文静陈兆鹏; 文献传递

SU-8金属应变式微力传感器的设计与制作: 微力传感器是微机电系统(MEMS)领域中不可缺少的一种传感器,在现有力传感器的研究中,能够对微小力测量的传感器相对较少。此外,在微装配和微操作过程中,为了避免破坏操作对象以及快速的完成操作,很多时候也都需要对力进行感知。...; 陈兆鹏; 关键词：微力传感器 SU-8胶悬臂梁; 文献传递

一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法: 本发明一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及一种柔性电热驱动微夹钳及其制作工艺方法。微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由SU-8胶结构层和上、下电极金属层组...; 褚金奎张然陈兆鹏; 文献传递

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陈兆鹏