熊伟
- 作品数：18 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金中国科学院科研装备研制项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 光弹调制器研究综述及原理验证被引量：5
- 2021年
- 光弹调制器是一种基于压电效应和光弹效应的光学调制器件。光弹调制器采用共振工作模式,具有调制频率高,灵敏度高,调制波段宽(紫外~远红外)等特点,可广泛应用于半导体、新材料、生命科学及航天军工等高新技术领域。该文首先阐述了光弹调制器的基本工作原理,包括压电效应、光弹效应等;其次介绍了光弹调制器的结构和重要参数,并分析了不同结构和各参数对器件性能的影响;然后进一步介绍了目前新型光弹调制器的相关研究;最后,针对目前主流的八角形二维结构,该文给出了基于有限元法的数值仿真结果,并对该类型光弹调制器的工作原理和振动特性进行了验证。
- 武燕婷熊伟李超波
- 一种基于最优化模型的高速椭偏测量方法及装置
- 本公开提供一种基于最优化模型的高速椭偏测量方法及装置，其中方法包括：建立椭偏测量系统的系统模型，所述椭偏测量系统包括起偏器、光弹调制器PEM和检偏器；将入射光的Stokes矢量和所述椭偏测量系统的各系统参数代入系统模型后...
- 何彤熊伟李超波
- 文献传递
- 一种光弹调制系统及其控制方法
- 本发明公开了一种光弹调制系统及其控制方法，涉及光学测量技术领域，所述光弹调制系统包括：光弹调制器；驱动控制模块，所述驱动控制模块连接所述光弹调制器；光强采集模块，所述光强采集模块连接所述光弹调制器，用于将所述光弹调制器输...
- 欧立杨熊伟陈学周李超波
- 基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
- 2013年
- 研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。
- 严冬李国光刘涛熊伟李成敏郭青杨叶甜春
- 关键词：形貌
- 耦合波分析中任意二维光栅介电常数的傅里叶分析
- 2013年
- 严格耦合波分析(RCWA)法在测量二维周期光栅的关键尺寸(CD)和获得其剖面结构中有着较为广泛的应用。在这个应用过程中需要对二维光栅周期单元的相对介电常数分布表达式进行傅里叶级数展开,而在以往的研究中只提出了几种规则光栅的傅里叶系数求解公式,从而使得能够应用RCWA方法进行衍射分析的光栅在形状方面受到了一定的限制。针对这一局限,运用矩形网格细分的方法得到了计算二维周期光栅的相对介电常数傅里叶系数的通用公式,它能够对任意形状的二维周期光栅相对介电常数分布进行傅里叶级数展开,并运用于衍射问题的RCWA方法分析之中。
- 张强熊伟荣健
- 关键词：光栅傅里叶系数介电常数衍射
- 一种针对单个纳米颗粒的检测方法
- 本发明涉及一种针对单个纳米颗粒的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：在盖玻片上附着单个纳米颗粒；光源发出的光经过扩束整形后，聚焦到油浸物镜的后焦平面；调节入射光在所述油浸物镜的后焦平面上的位置，使入射光斜入射到所述盖玻片...
- 江丽雯路鑫超孙旭晴刘虹遥熊伟谌雅琴张朝前
- 文献传递
- 光弹调制器谐振特性的研究及验证被引量：4
- 2021年
- 光弹调制器(PEM)是一种广泛应用于光学检测的光调制器件,其利用压电晶体的逆压电效应来周期性改变光弹晶体内部的折射率,从而实现对通过光弹晶体的光信号的相位调制。当系统处于谐振状态时,PEM的调制效率最高。因此,谐振频率和表征其工作效率的品质因子是PEM的两个重要参数。为了研究PEM的谐振特性,设计了一款目标频率在50 kHz附近的二维八角对称结构PEM并进行了理论和实验验证,同时提出一种基于阻抗分析的PEM谐振特性测量方法。首先建立频率模型进行分析以得到目标PEM的理论参数,再通过数值仿真软件进行理论验证,最终完成了两组PEM样品的制备。此外,还基于阻抗分析方法对样品的谐振特性进行了实验验证,测得样品的谐振频率分别为52.363 kHz和52.353 kHz,品质因子分别为5071.2和6096.7。
- 武燕婷熊伟李超波李超波田飔莹
- 关键词：调制器阻抗分析谐振频率品质因子
- 基于倏逝波界面散射的单个纳米颗粒无标记成像被引量：3
- 2018年
- 介绍了一种利用倏逝波界面散射对单个纳米颗粒进行无标记成像的方法。分别使用全内反射(TIR)倏逝波与表面等离激元(SPPs)两种倏逝波与单个纳米颗粒相互作用,激发纳米颗粒极化并发生散射,所产生的界面散射与入射倏逝波发生干涉,形成了纳米颗粒极化场与抛物线形干涉条纹的特征成像。分别对直径为500,200,100nm的聚苯乙烯颗粒进行了单个纳米颗粒无标记成像。比较了两种倏逝波界面散射对单个纳米颗粒成像结果,发现表面等离激元界面散射成像中的单个纳米颗粒极化强度约是全内反射极化强度的10倍,并且接近于暗场成像。因此,表面等离激元界面散射对单个纳米颗粒无标记成像具有更高灵敏度。所提单个纳米颗粒无标记成像方法可以拓展到病毒检测、生物单分子成像等领域。
- 江丽雯孙旭晴刘虹遥谌雅琴熊伟张朝前路鑫超
- 关键词：表面光学全内反射表面等离激元
- 基于模型优化的斯托克斯矢量测量系统及方法
- 本发明公开了一种基于模型优化的斯托克斯矢量测量系统及方法，涉及光学测量仪器技术领域，所述系统包括第一光弹调制器、第二光弹调制器、检偏器、光强采集器以及计算机。本发明将系统参数如光学元件的主光轴偏转角度、矢量光束的入射角、...
- 熊伟武燕婷何彤李超波
- 一种基于最优化模型的高速椭偏测量方法及装置
- 本公开提供一种基于最优化模型的高速椭偏测量方法及装置，其中方法包括：建立椭偏测量系统的系统模型，所述椭偏测量系统包括起偏器、光弹调制器PEM和检偏器；将入射光的Stokes矢量和所述椭偏测量系统的各系统参数代入系统模型后...
- 何彤熊伟李超波
