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庄小玲
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1
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供职机构:
泉州师范学院物理与信息工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
冷金亮
泉州师范学院物理与信息工程学院
张治国
泉州师范学院物理与信息工程学院
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铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其特性
2010年
采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示:薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于(002)晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显.
庄小玲
冷金亮
张治国
关键词:
磁控溅射
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