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庄小玲

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:泉州师范学院物理与信息工程学院更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇AZO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇泉州师范学院

作者

  • 1篇张治国
  • 1篇庄小玲
  • 1篇冷金亮

传媒

  • 1篇泉州师范学院...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其特性
2010年
采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示:薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于(002)晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显.
庄小玲冷金亮张治国
关键词:磁控溅射AZO薄膜
共1页<1>
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