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宋立凡
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
江南大学信息工程学院
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张庆东
江南大学信息工程学院
顾晓峰
江南大学信息工程学院
周东
江南大学信息工程学院
于宗光
江南大学信息工程学院
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张庆东
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1篇
2009
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应变硅NMOS晶体管沟道应变的模拟研究
被引量:2
2009年
建立了一种基于硅/锗硅异质结构的应变硅NMOS晶体管的有限元模型,通过模拟研究了沟道区的应变分布及其与器件参数的关系。结果表明,提高锗硅虚拟衬底中锗的摩尔组分、减小应变硅层厚度,可以增加沟道应变。此外,应变量还随器件结构长度的增加而增加。研究结果可为应变硅器件的设计、工艺优化提供参考依据。
张庆东
周东
顾晓峰
宋立凡
于宗光
关键词:
应变硅
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