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贺琪

作品数:1 被引量:6H指数:1
供职机构:北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇金刚石膜
  • 1篇过渡层
  • 1篇附着力
  • 1篇ZNS

机构

  • 1篇北京科技大学
  • 1篇北京有色金属...

作者

  • 1篇余怀之
  • 1篇张树玉
  • 1篇苏小平
  • 1篇黎建明
  • 1篇刘伟
  • 1篇郝鹏
  • 1篇杨海
  • 1篇贺琪

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究被引量:6
2008年
CVD ZnS是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料,文中从折射率、热应力、透射波段和附着力等方面考虑,由实验设计出HfO2/非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜间的过渡层,采用射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层,并采用划痕法研究了薄膜的显微结构对其与衬底间附着力的影响。结果表明,金刚石能够在HfO2/非晶膜过渡层上形核、生长,得到优质的保护膜,同时过渡层也缓解了金刚石膜与ZnS衬底间由于热膨胀系数的较大差异而引起的膜层脱落问题,单面沉积过渡层的ZnS在2~12μm范围具有增透膜的作用。与AlN/非晶膜组成的过渡层相比,HfO2/非晶膜组成的过渡层具有更小的残余应力。在典型实验条件下,该过渡层与ZnS衬底附着性良好,研究发现薄膜的显微结构对附着力的大小有重要影响,形成细小致密的柱状纤维结构,有利于提高附着力。
郝鹏张树玉黎建明杨海苏小平余怀之刘伟贺琪
关键词:过渡层ZNS金刚石膜附着力
共1页<1>
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