陈若愚
- 作品数:3 被引量:4H指数:1
- 供职机构:北方工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:化学工程自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 压电微悬臂梁的制作及其基频的研究被引量:2
- 2017年
- 制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁,将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型,并使用理论计算和有限元仿真软件分析了双层微悬臂梁模型的基频,最后用激光多普勒测振仪对微悬臂梁结构进行了测试。结果表明,仿真、理论和实验测试结果在一定程度上符合得很好,为以后此类压电微悬臂梁的制作和基频的计算提供了参考。
- 张程浩陈若愚董世杰
- 关键词:基频
- 全差分三轴MEMS电容加速度计的设计被引量:1
- 2017年
- 采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该器件具备结构简单紧凑、抗干扰能力强、灵敏度高、工艺简单等优点,在电子消费领域有很好的应用前景。
- 张程浩狄杰建刘昊陈若愚谭培培
- 微型扑翼飞行机器人的设计方法和制造工艺研究
- 扑翼飞行是自然界最古老的飞行方式,这种飞行方式想较于固定翼和旋翼飞行,显得更加的灵活,可以实现悬停,倒飞等特殊的飞行。近年来,扑翼飞行方式成为航空领域研究的热点,自然界已有的飞行器——昆虫和鸟类更成为我们研究和模仿的对象...
- 陈若愚
- 关键词:运动学分析动力学模型
- 文献传递