王维
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：贵州师范学院物理与电子科学学院更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- Ar/Ne,He/Ne,Ne/N_2,O_2混合气体直流放电及PIC模拟分析
- 2015年
- 通过对混合气体氩和氖(Ar/Ne),氦和氖(He/Ne)以及氖和氮、氧气(Ne/N2,O2)直流辉光放电分析,结合等离子体粒子模拟实验(PIC),模拟分析了Ar/Ne、He/Ne、Ne/N2,O2在直流高压500V^1000V,低气压0.5Torr^1Torr,几种混合气体的直流辉光放电过程。通过模拟实验分析和阐述了混合气体电离后各种离子、电子、二次电子的动能、密度、相空间以及空间和能量分布。分析这些物理参量,能合理地解释按一定比例混合气体氩、氖、氦、氮气、氧气的直流辉光放电现象,在一定程度上,为各种填充气体的霓虹灯工艺提供了一定的理论参考。
- 卢山王维邓明王世平周筑文
- 关键词：混合气体直流辉光放电
- 模拟分析SiH_4和N_2O产生等离子体加强化学沉积制备SiO_2薄膜被引量：3
- 2014年
- 通过等离子体粒子模拟实验(PIC),成功模拟了硅烷(SiH4)和笑气(N2O)的等离子体加强化学沉积(PECVD)制备SiO2薄膜的过程。模拟实验过程分析了电离后各种离子的动能、以及鞘层的空间和能量分布。分析这些物理参量,对比SiH4和N2O的等离子体加强化学沉积实验中的化学反应式,模拟实验结果从动能、能量空间分布的角度都能合理地解释等离子体加强化学沉积制备SiO2薄膜的实验过程,通过这些粒子模拟实验(PIC),从理论上合理地解释了使用SiH4和N2O形成SiO2薄膜的一些形成机制。
- 陈心园黄建邓伟王维周筑文
- 关键词：笑气SIO2薄膜
- 霓虹灯中氦、氖、氩气体辉光放电分析及PIC模拟
- 2015年
- 通过对霓虹灯中的惰性气体氦、氖、氩气体进行直流辉光放电研究,结合等离子体粒子模拟实验(PIC),模拟分析了氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)在直流高电压、低气压下的直流辉光放电过程。通过模拟实验分析和阐述了He、Ne、Ar电离后各种离子、电子、二次电子的动能、密度以及空间能量分布。分析这些物理参量,能合理地解释霓虹灯中的惰性气体氦、氖、氩的直流辉光放电现象,在一定程度上,为各种填充气体的霓虹灯工艺提供了一定的理论参考。
- 王维邓明王世平罗亮周筑文
- 关键词：直流辉光放电氦氖氩
