刘佳
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
- 发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- Al合金在碱性条件下CMP研究被引量：3
- 2013年
- Al化学机械抛光是实现28 nm高k金属栅器件集成电路的关键制程,采用田口方法设计正交实验,主要研究了碱性抛光液对Al合金抛光特性的作用。围绕抛光液组分进行实验。结果表明,有机胺碱体积分数为1.5%,螯合剂体积分数为0.5%,硅溶胶磨料体积分数为15%,活性剂体积分数为0.3%,氧化剂H2O2体积分数为1%时表面粗糙度最低,同时抛光液组分中活性剂体积分数在化学机械抛光过程中对Al合金表面粗糙度影响最为显著。通过优化抛光液组分配比,化学机械抛光后Al合金表面粗糙度可降到1.81 nm(10μm×10μm)。在最佳配比,即pH值为10.51时的抛光液与传统三酸抛光液进行对比实验,Al表面粗糙度明显低于传统三酸抛光液,抛光后Al表面无划伤、无蚀坑,达到了较好的抛光效果。
- 杨昊鹍刘玉岭孙鸣陈蕊刘佳田园
- 关键词：AL合金抛光液化学机械抛光活性剂
- 用于CATV的DFB激光器同轴封装激光焊接技术研究
- 2009年
- 激光焊接技术广泛应用于光电子封装领域,它能形成很强的结合力,显示出无可比拟的优越性。但激光脉冲形状设置仍存在一定缺陷。研究了用于CATV的DFB激光器同轴封装激光焊接技术,利用Nd∶YAG激光焊接系统,在两种不同的激光脉冲形式下,对DFB激光器和光纤进行焊接,分析了焊点宽度、深度与激光脉冲的关系。通过推力实验,测得DFB激光器输出光功率的变化大小,验证焊点质量,得出实际生产中脉宽为5ms和2ms、电压为310V和360V的激光脉冲,从而提高了焊接质量和工艺水平。
- 刘佳刘赫钱彬张存善王新桥
- 关键词：DFB激光器激光焊接技术激光脉冲
