樊启鹏
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：北京印刷学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程轻工技术与工程更多>>
- 等离子体增强原子层沉积技术制备碳化钴薄膜被引量：4
- 2019年
- 报道了一种新型PE-ALD工艺用于沉积碳化钴薄膜。以脒基钴为前驱体,在氢等离子体作用下,成功制备了碳化钴薄膜。薄膜厚度与沉积循环关系显示薄膜生长为理想的逐层生长行为,100℃下薄膜生长速率为0.066 nm/cycle。利用XRD和TEM对所沉积的薄膜进行表征,结果表明薄膜是多晶的六方晶系Co3C晶体结构。XPS的结果表明沉积的碳化钴膜具有高纯度。在深宽比高达20:1的硅基底沟槽中研究碳化钴薄膜的保型性,显示该PE-ALD工艺可以沉积厚度均匀、光滑且高度保形的碳化钴薄膜,这有利于在高深宽比的3D结构中的涂覆并且在负载催化剂领域具有潜在应用。
- 樊启鹏胡玉莲刘博文田旭江德荣刘忠伟
- 关键词：氢等离子体原子层沉积
- 等离子体辅助原子层沉积钴基薄膜及其析氢性能的研究
- 过渡金属碳化物(TMCs)和过渡金属氮化物(TMNs)因其独特的电子结构和地球丰度,被作为替代价格高昂的贵金属电催化剂的候选者,引起了人们的广泛关注。近年来研究发现,碳化钴和氮化钴是代替贵金属材料的有效的析氢催化剂。原子...
- 樊启鹏
- 关键词：析氢
- 文献传递
- 常温下自制功能保鲜袋对火龙果的保鲜效果研究被引量：9
- 2015年
- 目的延长火龙果在常温(25±1)℃条件下的货架期。方法使用智能缓释杀菌薄膜和高透气性硅窗薄膜制备多功能集成保鲜袋(AP),并对新鲜火龙果进行保鲜实验。通过对保鲜袋的顶空气体组成、火龙果的硬度、总可溶性固形物含量、可滴定酸(TA)含量和维生素C含量的测定,研究AP多功能集成保鲜膜对火龙果的保鲜效果。结果在常温下,裸放火龙果的货架期为6 d,而AP多功能集成保鲜袋内火龙果的货架期可以延长4 d,并且可以较好地保持火龙果的品质。结论 AP膜可有效减缓硬度的降低及水分损失,同时可溶性固含量和总酸值均高于对照组。
- 刘青李东立刘冠一陈雪柔李可欣冯亚芳樊启鹏
- 关键词：火龙果
- 石英微晶天平技术在原子层沉积碳化镍薄膜过程中的应用研究
- 2018年
- 采用等离子体增强原子层沉积技术分别以Ni(amd)2、Ni(dad)2为镍、碳前驱体,氢等离子体为还原剂成功沉积了碳化镍薄膜。两个沉积过程中,碳化镍薄膜厚度都随着反应循环次数的增加而线性增加。利用石英微晶天平技术对碳化镍薄膜的沉积过程进行了原位在线测量。初步提出碳化镍薄膜的沉积机理,其中由等离子体作用产生的氢原子对沉积过程有重要作用。一方面,在等离子体中原子氢与Ni(amd)2或Ni(dad)2发生化学反应,生成Ni、挥发性的N-叔丁基乙酰胺盐和碳氢化合物,这些镍在镍表面上有吸附和分解的趋势。此外,原子氢对吸附的碳氢化合物脱氢生成碳化镍和大量碳物种具有促进作用。另一方面,预计它还会刻蚀碳化镍表面的无定形碳和石墨,或者将碳化镍分解成具有催化活性的金属镍。
- 胡玉莲郭群樊启鹏王正铎王院民刘忠伟杨丽珍
- 关键词：原子层沉积
