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孟欢
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1
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供职机构:
江苏信息职业技术学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张海磊
江苏信息职业技术学院
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张海磊
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孟欢
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2016
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浅谈SILVACO TCAD在VDMOS功率器件设计中的应用
2016年
SILVACO TCAD是一款半导体工艺和器件仿真的专用软件,具有良好的界面,精确的模型设计被广泛应用。本文利用SILVACO TCAD软件对VDMOS功率器件的工艺和器件参数进行仿真,根据仿真过程及结果,提出了该仿真软件应用过程应该注意的一些问题。
张海磊
陆建恩
严古响
徐成保
孟欢
关键词:
半导体工艺
VDMOS
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