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刘小利
刘小利
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常州宝颐金刚石科技有限公司
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
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合作作者
周学芹
常州宝颐金刚石科技有限公司
李坤
常州大学材料科学与工程学院
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高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶
2015年
利用自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD设备,在工作气压28kPa,微波功率5kW的条件下成功制备金刚石单晶,并采用光学显微镜、激光拉曼谱(Raman)技术对样品进行表征。结果表明,在高气压高功率条件下单晶的沉积速率高达26μm/h,且表面形貌平整。
史玉芬
周学芹
李坤
刘小利
关键词:
金刚石单晶
沉积速率
MPCVD
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