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刘小利

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:常州宝颐金刚石科技有限公司更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石单晶
  • 1篇功率
  • 1篇刚石
  • 1篇MPCVD
  • 1篇沉积速率
  • 1篇高功率

机构

  • 1篇常州大学
  • 1篇常州宝颐金刚...

作者

  • 1篇李坤
  • 1篇刘小利
  • 1篇周学芹

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶
2015年
利用自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD设备,在工作气压28kPa,微波功率5kW的条件下成功制备金刚石单晶,并采用光学显微镜、激光拉曼谱(Raman)技术对样品进行表征。结果表明,在高气压高功率条件下单晶的沉积速率高达26μm/h,且表面形貌平整。
史玉芬周学芹李坤刘小利
关键词:金刚石单晶沉积速率MPCVD
共1页<1>
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