陈金明
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 有机聚合物光波导光刻工艺的优化被引量：2
- 2007年
- 针对RZJ-304(25 mp.s)型正性光刻胶,对芯层为PMMA的光波导材料,研究接触式光刻机提高光刻分辨率的方法。分别采用不同的曝光强度和曝光时间来改变曝光量,研究其对光刻图形宽度的影响;并通过改变曝光后烘焙(PEB)的温度和时间以及采用不同的显影时间,研究了其对光刻图形宽度的影响,从而得出优化的光刻工艺参数。
- 陈金明胡国华恽斌峰崔一平
- 关键词：聚合物光波导光刻工艺曝光量
- 含氟聚酰亚胺有机聚合物波导的制备被引量：5
- 2007年
- 采用含氟单体4,4'-(六氟异丙基)-苯二酸酐(6FDA)、5,5'-(六氟异丙基)-二-(2-氨基苯酚)(6FHP)及二氨基二苯醚(ODA)合成了含氟聚酰亚胺共聚物材料,对材料的化学和光学性能进行了表征.共聚物材料在溶液状态下用旋涂法获得了较高质量的共聚物薄膜,并在此基础上采用先进的光波导工艺技术将该材料制备成条波导,测试结果表明该波导在光通信波段1550nm处的平均传输损耗小于0.66dB/cm,局部损耗在0.2dB/cm,进一步改进后有望获得性能优异的光电子器件.
- 吕广才胡国华恽斌峰陆志远陈金明崔一平
- 关键词：含氟聚酰亚胺聚合物波导传输损耗
