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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇温度
  • 1篇相变
  • 1篇相变特性
  • 1篇结晶温度
  • 1篇N掺杂
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇吉林化工学院

作者

  • 1篇刘巧丽
  • 1篇李廷取
  • 1篇路大勇
  • 1篇李春波
  • 1篇刘军伟

传媒

  • 1篇吉林化工学院...

年份

  • 1篇2016
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
N-Ge_2Sb_2Te_5薄膜的相变特性研究被引量:2
2016年
采用射频磁控溅射法在室温下沉积了N-GST相变薄膜,利用原位XRD研究了其相变过程.结果表明:室温下沉积薄膜均为非晶态,且在室温~375℃温度范围内,纯GST薄膜发生了非晶态→立方晶态→六方晶态相转变;然而,当N2流量为12.8 sccm时,N掺杂GST薄膜则发生了非晶态→六方晶态直接相转变.此外,通过原位XRD确定结晶温度,表明N引入能够显著提高GST薄膜的结晶温度,这有利于提高相变薄膜的非晶热稳定性.
刘巧丽刘军伟李春波李廷取路大勇
关键词:相变特性N掺杂结晶温度
共1页<1>
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