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李春波
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
吉林化工学院材料科学与工程学院
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相关领域:
理学
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合作作者
刘军伟
吉林化工学院材料科学与工程学院
路大勇
吉林化工学院材料科学与工程学院
李廷取
吉林化工学院材料科学与工程学院
刘巧丽
吉林化工学院材料科学与工程学院
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2016
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N-Ge_2Sb_2Te_5薄膜的相变特性研究
被引量:2
2016年
采用射频磁控溅射法在室温下沉积了N-GST相变薄膜,利用原位XRD研究了其相变过程.结果表明:室温下沉积薄膜均为非晶态,且在室温~375℃温度范围内,纯GST薄膜发生了非晶态→立方晶态→六方晶态相转变;然而,当N2流量为12.8 sccm时,N掺杂GST薄膜则发生了非晶态→六方晶态直接相转变.此外,通过原位XRD确定结晶温度,表明N引入能够显著提高GST薄膜的结晶温度,这有利于提高相变薄膜的非晶热稳定性.
刘巧丽
刘军伟
李春波
李廷取
路大勇
关键词:
相变特性
N掺杂
结晶温度
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