吴建杰
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 三维玻璃光波导制备方法
- 本发明公开了一种三维玻璃光波导制备方法，首先通过湿法刻蚀工艺或干法刻蚀工艺或激光微加工技术在钠钙玻璃基板上制备出脊型、槽型、台阶型中的一种或几种三维玻璃结构，然后对刻蚀后的玻璃基板进行离子交换得到脊型玻璃光波导或侧壁型玻...
- 祁志美吴建杰李金洋逯丹凤
- 文献传递
- 钛扩散铌酸锂脊形波导理论分析与初步制备被引量：6
- 2013年
- 铌酸锂脊形波导最近引起了广泛研究兴趣,它通常采用刻蚀钛扩散或质子交换铌酸锂条形波导或平板波导的方法制作而成。对由这两种方法制备的钛扩散铌酸锂脊形波导在1550nm波长处的横电基模光场分布进行了仿真分析。结果指出,当钛扩散条件相同时,通过刻蚀钛扩散铌酸锂平板波导得到的脊形结构在横向和纵向上对导模均具有更好的束缚能力。这种脊形波导的制作工艺相对简单,它对导模的强束缚有利于减小铌酸锂电光调制器尺寸和提高光电重叠积分因子。实验制备了钛扩散铌酸锂平板波导,并基于微机电系统(MEMS)工艺在其表面制作出Cr膜马赫-曾德尔干涉计(MZI)阵列图案,然后在SF6气氛中对平板波导进行反应离子刻蚀,初步得到了铌酸锂脊形波导MZI阵列。扫描电镜分析结果显示制得的脊形波导横截面呈梯形状,两侧面较粗糙,脊高约670nm。
- 李金洋要彦清吴建杰祁志美
- 关键词：光学器件铌酸锂反应离子刻蚀脊形波导
- 铌酸锂干法刻蚀的研究进展被引量：3
- 2012年
- 概述了近年来国内外对铌酸锂(LN)晶体干法刻蚀技术的研究进展。根据刻蚀原理和特点,现有的LN干法刻蚀技术可分为等离子体刻蚀、激光微加工技术和Ti扩散电化学刻蚀。对各刻蚀方法及其研究进展进行了总结,分析了不同干法刻蚀方法之间的区别和联系,并对各方法中存在的问题进行了探讨。其中等离子体刻蚀技术由于其良好的图形转移特性,得到了最广泛的应用;激光微加工技术在制备光子晶体结构和微光栅结构中具有独特的优势;Ti扩散电化学刻蚀LN为制备大尺寸的LN基结构指明了新的方向。
- 要彦清李金洋吴建杰陈方祁志美
- 关键词：集成光学光学器件铌酸锂干法刻蚀反应离子刻蚀
- 三维玻璃光波导制备方法
- 本发明公开了一种三维玻璃光波导的制备方法，首先通过湿法刻蚀工艺或干法刻蚀工艺或激光微加工技术在钠钙玻璃基板上制备出脊型、槽型、台阶型中的一种或几种三维玻璃结构，然后对刻蚀后的玻璃基板进行离子交换得到脊型玻璃光波导或侧壁型...
- 祁志美吴建杰李金洋逯丹凤
- 文献传递
