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杜婧

作品数：36 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程轻工技术与工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 33篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 7篇电子电信
  • 4篇机械工程
  • 4篇轻工技术与工...
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇理学
  • 1篇文化科学

主题

  • 14篇光刻
  • 10篇光刻机
  • 9篇掩模
  • 8篇投影光刻
  • 8篇投影光刻机
  • 6篇镜片
  • 6篇铰链
  • 5篇调平
  • 5篇镜筒
  • 4篇三自由度
  • 4篇物镜
  • 4篇激光
  • 3篇弹簧机构
  • 3篇调平机构
  • 3篇柔性铰链
  • 3篇激光干涉
  • 3篇铰链机构
  • 3篇工件台
  • 3篇光刻物镜
  • 3篇光学

机构

  • 36篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 36篇杜婧
  • 22篇刘俊伯
  • 12篇胡松
  • 9篇赵立新
  • 8篇冯金花
  • 7篇全海洋
  • 5篇唐燕
  • 5篇朱咸昌
  • 4篇周清华
  • 4篇何渝
  • 3篇王建
  • 3篇严伟
  • 3篇邓钦元
  • 3篇周毅
  • 2篇杨春利
  • 2篇邓茜
  • 2篇李凡星
  • 2篇田鹏
  • 1篇杨帆
  • 1篇胡淘

传媒

  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光学学报
  • 1篇光电工程

年份

  • 2篇2024
  • 9篇2023
  • 7篇2022
  • 3篇2021
  • 4篇2020
  • 5篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 36 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种双面光刻工件台
本发明公开了一种双面光刻工件台，包括基座、下掩模XYθ向运动台、下掩模调平机构、上掩模升降机构；基座为整个工件台的安装基准，由底板、支撑立柱与上板组成；下掩模XYθ向运动台与底板连接，通过导轨滑体、交叉滚柱轴环等结构实现...
杜婧赵立新龚健文杨春利
文献传递
用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法
本发明公开一种用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法，是禁忌搜索‑遗传算法的混合方法。光刻系统空间像成像模型以Abbe成像方法为基础，通过提取掩模有效衍射频谱信息完成空间像强度分布的计算。光源S由四个对称的子区...
刘俊伯孙海峰张清延全海洋杜婧
基于非对称入射和偏振调制的四光束干涉光场被引量：1
2020年
建立了多光束干涉场的光强分布数学模型,利用Matlab仿真计算了基于方位角、入射角和偏振角联合调制的四光束干涉光场。分析了光束方位角、入射角和偏振态的变化对多光束干涉的影响,阐释了非对称入射时光场中隔离带现象的生成原因。基于四光束干涉并采用s-s-s-s波的偏振态组合,使其中一束光的方位角旋转180°,并改变入射角,得到一种可用于制备高长宽比椭圆阵列的方法。实验结果表明,方位角、入射角和偏振角共同决定了光束的偏振矢量。由于方位角和入射角两个自由度的引入,非对称入射增加了干涉图案的多样性,使多光束干涉不仅局限于周期性圆孔阵、圆点阵的制备,也为制备多周期、跨尺度图案提供了理论参考。
彭伏平严伟李凡星王思沫杜佳林杜婧
关键词：激光干涉偏振调制
一种镜片弹性支撑装置
本发明提供一种镜片弹性支撑装置，包括：镜框、刚性支撑、弹性支撑、弹性压块。镜框开有一圆孔，底部有一台阶面，三个刚性支撑均匀安装在镜框底部台阶面上，每两个刚性支撑之间均匀地安放5个弹性支撑；在镜框顶面上设计有三个台阶，分别...
康霞朱咸昌胡松赵立新刘俊伯杜婧周清华杨超刘文静周吉
一种用于物镜像质检测的光束扫描台
本发明公开了一种用于物镜像质检测的光束扫描台，是基于哈特曼波前测量原理的物镜像质检测台的子模块。所述光束扫描台包括XYZ电动移动台，光束反射镜组以及聚光镜。XYZ电动平移台可以实现聚光镜三自由度的高精度定位运动，使聚光镜...
杜婧刘俊伯全海洋
一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置
本发明公开了一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置，是基于哈特曼波前测量原理的物镜像质检测台的子模块，其包括物镜调平机构和物镜旋转机构。物镜调平机构可以实现物镜相对于哈特曼传感器的角度调整和像距调整；物镜旋转机构可以实现...
杜婧刘俊伯王建
一种一体式铰链可动镜片微调装置
本发明是一种一体式铰链可动镜片微调装置，包括镜筒(1)、镜片座(2)、镜片(3)、电机(4)、球头杆(5)及球头端盖(6)。镜筒(1)上沿圆周均布三处柔性铰链，每个柔性铰链中间分别有一平移块，三个平移块上方连接一个移动环...
康霞杜婧周吉刘文静程阳洋
一种光学元件轴向微动调整装置
本发明公开了一种光学元件轴向微动调整装置，包括镜片、镜座、驱动组件及铰链。驱动组件和铰链安装在镜座上，铰链与镜片连接。驱动组件带动铰链上下运动实现镜片轴向微动。驱动组件包括电机、电机座、球头杆、前压紧块、后压紧块、第一钢...
康霞杜婧周吉刘文静路雨桐程阳洋胡松赵立新
文献传递
一种基于双掩模对准的双面光刻工件台
本发明公开了一种基于双掩模对准的双面光刻工件台，包括基座、下掩模调平机构、上掩模升降机构；基座为整个工件台的安装基准，由底板与导轨安装座组成；下掩模调平机构与底板连接，半球、球碗与弹簧机构实现上掩模在下降过程中与下掩模的...
杜婧冯金花刘俊伯
文献传递
一种硅片传输手动机械手
本发明公开了一种硅片传输手动机械手，包括机械手座、升降旋转机构、取放片机构；机械手座为整个机械手的基座；升降旋转机构通过内部特殊结构，实现机械手的升降和旋转运动，其通过机械臂中轴与机械手座连接，机械臂中轴可在机械手座上调...
杜婧胡松刘俊伯周毅邓钦元邓茜
文献传递
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