贺婷
- 作品数:10 被引量:6H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学机械工程化学工程更多>>
- 在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置及方法
- 一种在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置包括:由连续激光器、可供样品放置的样品台、第一固定安装式红外热像仪和第一计算机构成的测量连续激光作用下光学元件表面精确温升装置,由固体表面热电偶、可供样品放置的高温恒温加热...
- 赵元安彭丽萍刘晓凤李大伟李成彭小聪贺婷邵建达
- 文献传递
- 手机显示屏玻璃的激光抛光方法
- 本发明为一种手机显示屏玻璃的激光抛光方法,该方法采用激光抛光手机显示屏玻璃,利用光束整形步骤优化激光光源,预热步骤解决手机显示屏玻璃热作用易碎的难题,实现对手机显示屏玻璃进行非接触式的无损高质量高效的抛光。本发明为获取无...
- 邵建达贺婷魏朝阳蒋志刚路晴
- 双光源联用激光束抛光装置
- 一种双光源联用激光束抛光装置,包括脉冲或连续CO<Sub>2</Sub>激光光源及能量控制系统、飞秒激光光源及能量控制系统、CO<Sub>2</Sub>激光光束整形系统、飞秒激光光束整形系统、自动聚焦系统、振镜扫描系统、...
- 邵建达贺婷魏朝阳廖洋徐学科
- 脉冲CO2激光高精度烧蚀熔石英玻璃被引量:2
- 2020年
- 激光抛光是一种能获得超光滑表面新颖的光学元件加工方法,但抛光后表面存在残余波纹和面形畸变.激光高精度烧蚀可用于对元件表面残余波纹和面形进行修正,是一种极具潜力的修形技术.本文开展了激光高精度烧蚀熔石英玻璃的实验,验证了脉冲CO2激光通过控制重叠率可以实现高精度的局部区域均匀烧蚀,并可通过控制激光功率密度获得不同纳米量级的烧蚀深度.但实验发现激光局部区域烧蚀过程存在热累积和过烧蚀的现象.为此建立三维数值模型模拟脉冲CO2激光扫描熔石英表面的过程,对不同重叠率及不同脉冲重复频率作用下熔石英表面温度分布及演变进行分析.数值计算结果表明,重叠率过高将导致熔石英过烧蚀;在合适的重叠率下,高脉冲重复频率会导致明显的热累积.
- 贺婷曹珍魏朝阳邵建达
- 关键词:热传导熔石英
- 沉积速率对直流脉冲溅射钼薄膜微结构与光学性能的影响被引量:4
- 2016年
- 用脉冲直流磁控溅射方法在硅片衬底上制备了厚度相同的单层钼薄膜,结合台阶仪、X射线衍射仪、场发射扫描电镜、原子力学显微镜和紫外-可见分光光度计分别研究了不同沉积速率对钼薄膜微结构、表面形貌和光学性能的影响。掠入射X射线反射谱拟合的钼薄膜厚度与设计厚度一致,说明当前钼薄膜制备工艺成熟稳定。沉积速率通过改变薄膜生长模式与薄膜形核率影响钼薄膜表面形貌演化。随着沉积速率的增大,薄膜越来越致密,钼(110)面的衍射峰强度逐渐增大,平均晶粒尺寸增大,表面粗糙度先降低后增加。
- 赵娇玲贺洪波王虎郭佳露贺婷
- 关键词:光学性能
- 熔石英光学玻璃的激光束抛光方法
- 本发明为一种熔石英光学玻璃的抛光方法,该方法利用连续CO<Sub>2</Sub>激光束抛光熔石英光学玻璃,采用非聚焦光源并结合温度监控及反馈系统,实现对熔石英光学玻璃表面粗糙度RMS小于0.2nm的激光束抛光,抛光后熔石...
- 邵建达贺婷魏朝阳郭梦婷蒋志刚
- 文献传递
- CO<Sub>2</Sub>激光束抛光装置
- 一种CO<Sub>2</Sub>激光束抛光装置,包括脉冲或连续CO<Sub>2</Sub>激光器及激光功率控制系统、光束整形系统、自动聚焦系统、扫描系统、温控和四维平台联动系统。本发明是利用激光加工技术与自动化控制技术相...
- 邵建达贺婷魏朝阳廖洋徐学科
- 文献传递
- 双光源联用激光束抛光装置
- 一种双光源联用激光束抛光装置,包括脉冲或连续CO<Sub>2</Sub>激光光源及能量控制系统、飞秒激光光源及能量控制系统、CO<Sub>2</Sub>激光光束整形系统、飞秒激光光束整形系统、自动聚焦系统、振镜扫描系统、...
- 邵建达贺婷魏朝阳廖洋徐学科
- 文献传递
- 在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置及方法
- 一种在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置包括:由连续激光器、可供样品放置的样品台、第一固定安装式红外热像仪和第一计算机构成的测量连续激光作用下光学元件表面精确温升装置,由固体表面热电偶、可供样品放置的高温恒温加热...
- 赵元安彭丽萍刘晓凤李大伟李成彭小聪贺婷邵建达
- 文献传递
- CO<Sub>2</Sub>激光束抛光装置
- 一种CO<Sub>2</Sub>激光束抛光装置,包括脉冲或连续CO<Sub>2</Sub>激光器及激光功率控制系统、光束整形系统、自动聚焦系统、扫描系统、温控和四维平台联动系统。本发明是利用激光加工技术与自动化控制技术相...
- 邵建达贺婷魏朝阳廖洋徐学科
- 文献传递