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陈红彦

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室更多>>
发文基金：河南省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇湿度传感器
  • 1篇湿敏
  • 1篇碳化硅
  • 1篇气相沉积
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米孔
  • 1篇纳米碳
  • 1篇纳米碳化硅
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇硅纳米孔柱阵...
  • 1篇感器
  • 1篇SIC
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇郑州大学
  • 1篇郑州轻工业学...

作者

  • 1篇韩昌报
  • 1篇胡青飞
  • 1篇李新建
  • 1篇王海燕
  • 1篇孟晓波
  • 1篇陈红彦

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米碳化硅/硅纳米孔柱阵列湿敏性能研究被引量：2
2011年
以硅纳米孔阵列(S i-NPA)为衬底,采用化学气相沉积法分别制备了S iC纳米颗粒/S i-NPA(nc-S iC/S i-NPA)和S iC纳米线/S i-NPA(nw-S iC/S i-NPA)复合体系,并对其表面成分和形貌、室温湿敏性能进行了表征。实验结果表明,nc-S iC/S i-NPA和nw-S iC/S i-NPA均对水蒸气表现出灵敏的电容响应。当环境相对湿度从11%增加到95%,在100 Hz的测试频率下nc-S iC/S i-NPA的电容增加了750%,而nw-S iC/S i-NPA的电容增加了1050%。通过升湿和降湿动态过程,测得nc-S iC/S i-NPA的响应和恢复时间均为10 s,nw-S iC/S i-NPA的响应和恢复时间分别为100 s和150 s。分析表明,nc-S iC/S i-NPA、nw-S iC/S i-NPA对湿度的高度敏感性主要源于nc-S iC、nw-S iC所引起感应面积的巨大增加,而其较短的响应和恢复时间则归因于阵列结构为水蒸气提供了有效的传输通道。
王海燕陈红彦胡青飞孟晓波韩昌报李新建
关键词：湿度传感器化学气相沉积
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