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姜川
姜川
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
湖南大学材料科学与工程学院
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
朱家俊
湖南大学材料科学与工程学院
李德意
湖南大学材料科学与工程学院
彭坤
湖南大学材料科学与工程学院
周灵平
湖南大学材料科学与工程学院
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作者
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周灵平
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彭坤
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李德意
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朱家俊
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姜川
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人工晶体学报
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2013
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氢气对AlN薄膜择优取向的作用机制
被引量:2
2013年
采用脉冲反应磁控溅射方法在Si衬底上沉积了(100)和(002)择优取向的AlN薄膜,随着溅射功率的降低或氢气浓度的增加,放电电压下降,沉积粒子能量降低,薄膜由(002)取向逐渐向(100)取向转变。在溅射气氛中加入氢气后,薄膜中的氧含量降低,表面形貌与表面粗糙度均随着择优取向的改变发生变化。溅射功率及氢气浓度对AlN薄膜择优取向的影响规律表明,氢气主要是通过降低沉积粒子的能量和在衬底表面产生吸附两种作用方式来影响AlN薄膜的择优取向。
姜川
周灵平
彭坤
朱家俊
李德意
关键词:
ALN薄膜
反应磁控溅射
溅射功率
磁控溅射方法制备高C轴取向AIN薄膜
高频声表面波器件作为高频通信中的重要组件随着通讯系统高频化发展而受到人们的广泛关注。AIN薄膜因具有优良的热稳定性、机械和化学性能和高声波速度而成为高频声表器件中压电材料的最佳选择,特别是C-轴取向氮化铝薄膜面向有较高的...
周灵平
姜川
李智
彭坤
朱家俊
李德意
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