刘志涛
- 作品数：4 被引量：10H指数：3
- 供职机构：广东工业大学更多>>
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- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 2μm分辨DMD光刻系统镜头设计被引量：2
- 2015年
- 针对2μm分辨力的光刻,在以数字空间微反射器(DMD)为空间光调制器(SLM)的光刻系统中,采用一种新的非对称式结构组合,使用较少的透镜组成了一个高分辨力、大孔径的投影光刻镜头。利用ZEMAX光学设计软件对其进行了建模和优化,最终得到其全视场波像差小于λ/10,畸变小于0.02%,像方数值孔径NA=0.158,最小分辨力为2μm,近轴缩小倍率β=-0.217,其结果有效的减少了DMD栅格效应对空间数字掩模图形的影响,满足数字投影光刻光学系统的各项指标要求。最后,对设计结果进行了公差分析,在修改过少数几个默认公差后,采用Monte Carlo方法进行模拟装配,证明了这种新结构镜头加工和校装的可行性。
- 郭华周金运刘志涛雷亮
- 关键词：投影镜头光学设计
- PCB数字光刻投影光学设计及其扫描与控制技术研究
- 随着个人电子设备朝多功能、微型化、轻薄化、系统高度集成化方向发展，高端个人电子产品，例如下一代智能手机、iPad、iPhone、数码相机等，其制造商需要生产出功能强大、但更节能的产品。然而面向下一代高端个人电子产品的制造...
- 刘志涛
- 关键词：印刷电路板数字光刻光学设计
- 文献传递
- 数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
- 2013年
- 针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。
- 刘海勇周金运雷亮刘丽霞刘志涛郭华
- 关键词：数字光刻光学设计
- 一种新型PCB数字光刻投影成像技术被引量：3
- 2015年
- 为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68 mm,数值孔径NA=0.045,焦深为200 mm,严格控制像面畸变量小于0.03%。采用DMD多光束倾斜扫描技术,将DMD旋转一定的角度,利用曝光点的位置与光斑重叠积分能量的多少,形成更小的像素尺寸,提高了网格精度。基于该投影成像技术进行了光刻实验,实验结果证实了该投影成像技术的可行性,通过控制网格精度既能实现整数像素以外的线宽又能提高图像的分辨率和光刻效率。
- 刘志涛周金运刘丽霞郭华邝健
- 关键词：光学设计光刻镜头设计成像系统
