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侯丽丽

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单片
  • 1篇单片集成
  • 1篇导光
  • 1篇选区
  • 1篇载流子
  • 1篇阵列
  • 1篇阵列波导
  • 1篇阵列波导光栅
  • 1篇探测器
  • 1篇光栅
  • 1篇波导
  • 1篇波导光栅

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇韩勤
  • 1篇吕倩倩
  • 1篇安俊明
  • 1篇王玉冰
  • 1篇潘盼
  • 1篇侯丽丽

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2017
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计
2017年
选区外延技术是实现有源与无源光器件单片集成的一种有效的工艺手段,但同时对两种器件在异质生长界面处的对接结构提出了更高的设计要求.本文通过选区外延技术实现了InP基O波段4通道阵列波导光栅与单载流子探测器的单片集成.通过光学仿真重点研究了选区外延后界面处形貌对无源波导结构与有源光探测器间光耦合效率的影响,包括伸长的光学匹配层、二次外延生长边界位置、波导刻蚀边界位置等因素.研究结果表明,在保证二次外延生长边界对准异质对接界面时,将光学匹配层伸出探测器前端10μm并与外延边界无缝对接既可以保证高效的光传输效率(或探测器量子效率),又可以避免外延界面处的异常生长对器件制备工艺的影响,保证生长工艺与器件制备工艺的兼容性.成功制备的单片集成芯片具有高达76%的探测器量子效率,证明了对接方案的有效性.同时,集成芯片的低串扰(<-22 dB)与解复用特性展示出其作为解复用光接收芯片具有巨大潜力.
叶焓韩勤吕倩倩潘盼安俊明王玉冰刘荣瑞侯丽丽
关键词:单片集成阵列波导光栅
共1页<1>
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