王权
- 作品数：4 被引量：6H指数：2
- 供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国际热核聚变实验堆计划更多>>
- 相关领域：交通运输工程自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 射频感应耦合等离子体的朗缪双探针和发射光谱诊断分析
- 电子密度和电子温度是等离子体的两个重要的基本参量,对其的诊断是了解和控制反应等离子体的一个关键;通过采用朗缪双探针法对圆柱形射频感应耦合等离子体(Inductively coupled plasma,ICP)放电装置在不...
- 王荷军王波王权张昀严辉
- 关键词：电子密度电子温度汞发射光谱
- 放电参量对射频容性耦合等离子体电子密度的影响被引量：2
- 2017年
- 为了提高射频容性耦合等离子体电子密度,研究放电参量对其的影响。通过采用朗缪双探针法诊断分析了放电气压、气体组分、射频功率以及掺Hg等放电参量对圆柱形射频容性耦合等离子体放电装置的电子密度的影响。结果表明:随放电气压的增加,电子密度呈现出先增大后减小的变化,在30Pa-550Pa下,电子密度随气压的增大而增加,在550Pa-650Pa下,电子密度随气压的增大而减小;往Ar中通入一定体积分数的He,有增加等离子体电子密度的影响,且当He的体积分数为15%时,电子密度最大;等离子体电子密度随射频功率的增大而增加;向Ar中掺少量的Hg,有明显增加等离子体电子密度的效果。
- 王荷军王波刘云辉王权张昀
- 关键词：电子密度汞
- 射频感应耦合等离子体模式转变的发射光谱被引量：2
- 2018年
- 通过改变气体流率、放电气压和气体组成,研究射频感应耦合放电等离子体(inductively coupled plasma,ICP)在圆柱型放电装置中E模到H模的转化规律.采用发射光谱诊断法,对419.8 nm氩原子谱线和434.8 nm氩离子谱线进行采集和分析,以表征E模到H模的转换功率.当放电气压为60 Pa时,E-H转换功率最小;在Ar中加入He对E-H转换功率几乎没有影响,而加入N2后,E-H转换功率发生了明显的改变;随着氩气流率的增加,E-H转换功率在不断减小.结果表明:射频感应耦合放电等离子体E模到H模的转化是一个突然变化的过程,转换功率会因不同的气体流率、放电气压和气体组成而变化.
- 王波王权王荷军张天一
- 关键词：光谱诊断等离子体源
- 细长石英管内直流放电等离子体研究被引量：2
- 2018年
- 利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100 Pa时,电子密度最大,本装置所测最大密度为1.03×10^(17)m^(-3);电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小;放电距离越远,对击穿电压要求越高,分段式放电可以在较低的放电电压下,对较远的电极距离实现直流放电。
- 王权王波刘云辉张天一
- 关键词：等离子体电子密度击穿电压
