申作成
- 作品数：4 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于智能功率模块的变频器被引量：1
- 2001年
- 文章介绍一种基于智能化功率模块器件IPM的可再扩展变频器的研制。此种变频器方便用户自行开发 ,可扩展能力强 ,易于与用户系统融于一体。此外 。
- 申作成王新柱欧文
- 关键词：变频器智能功率模块微处理器接口电路
- 实验用CMP机器的研制
- 随着集成电路多层布线技术和铜互连技术的应用,CMP技术以应用的越来越普遍.而CMP机器是必须的设备,并且国外的机器很贵,为了进行有关方面的研究,我们自行研制了能满足实验研究的CMP机器,在大专院校和研究所应能得到广泛的应...
- 欧文申作成王新柱钱鹤
- 关键词：硅片加工
- 文献传递
- 硅片抛光机头吸盘
- 一种硅片抛光机头吸盘,有一机臂呈圆盘状,中心凸伸有一凸柱,一真空入口穿过机臂的中心;一真空腔体中心开有一圆孔,内部有一圆盘状的腔室与圆孔连通,真空腔体与圆孔相反的一面开有多数的微孔;一弹性膜为一圆片体,中心开有一通孔,弹...
- 夏洋张国海欧文申作成钱鹤
- 文献传递
- 深亚微米隔离技术——浅沟槽隔离工艺被引量：8
- 2002年
- 研究了浅沟槽隔离 (STI)工艺的各主要工艺步骤 :沟槽的形成、沟槽顶角的圆滑、沟槽填充以及化学机械抛光平坦化 .使用器件模拟软件 Medici和 Davinci分析了 STI结构的隔离性能以及沟槽隔离 MOSFET的
- 王新柱徐秋霞钱鹤申作成欧文
- 关键词：化学机械平坦化KINK效应微电子
