2025年1月1日
星期三
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蒋涛
作品数:
12
被引量:1
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
张卫
复旦大学
丁士进
复旦大学
王鹏飞
复旦大学
林阳辉
复旦大学
丁子君
复旦大学
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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丁子君
供职机构:复旦大学
研究主题:前驱体 超低介电常数 超大规模集成电路 电场强度 氧杂
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林阳辉
供职机构:复旦大学化学系
研究主题:富勒烯 有机无机杂化材料 碳60 C_ 富勒烯衍生物
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
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孟庆伟
供职机构:复旦大学
研究主题:超低介电常数 电场强度 乙烷 成孔剂 超大规模集成电路
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