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陈玮
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张卫
复旦大学信息科学与工程学院专用...
丁士进
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张敏
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 沉积厚度 快闪存储器 介质薄膜 纳米晶
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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任杰
供职机构:北京大学
研究主题:密度泛函理论 密度泛函理论研究 原子层淀积 反应机理 电子结构
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徐敏
供职机构:复旦大学
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张剑云
供职机构:复旦大学
研究主题:化学气相淀积 金刚石 相图 热力学 金刚石薄膜
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王季陶
供职机构:复旦大学
研究主题:金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
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张敏
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:快闪存储器 金属纳米晶 INVESTIGATION EMBEDDED DIELECTRIC
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