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徐静
作品数:
43
被引量:74
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴亚明
中科院上海微系统与信息技术研究...
钟少龙
中国科学院研究生院
李四华
中国科学院研究生院
李绍良
中国科学院研究生院
高翔
中科院上海微系统与信息技术研究...
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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李绍良
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缓冲气体 阳极键合 原子钟 MEMS技术 光学窗口
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高翔
供职机构:浙江大学
研究主题:烟气 催化剂 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
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赵本刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 高灵敏度 光电隔离 温度补偿
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所获资助
研究领域
刘玉菲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
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翟雷应
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
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研究领域
张志强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缓冲气体 原子钟 阳极键合 各向异性腐蚀 物理系统
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杨丹琼
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:差分 弹性梁 加速度传感器 电极 加速度计
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