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李春
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
邓文渊
中国科学院长春光学精密机械与物...
靳京城
中国科学院长春光学精密机械与物...
常艳贺
长春理工大学光电工程学院
姚舜
中国科学院长春光学精密机械与物...
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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所获资助
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邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
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靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
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常艳贺
供职机构:长春理工大学光电工程学院
研究主题:深紫外 激光 氟化物 光学薄膜 光学常数
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姚舜
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 深紫外 波段宽带
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喻波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 MO/SI多层膜 EUV
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匡尚奇
供职机构:长春理工大学理学院
研究主题:极紫外 多层膜 膜系 宽光谱 量子进化算法
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付秀华
供职机构:长春理工大学光电工程学院
研究主题:光学薄膜 离子辅助沉积 滤光片 非球面 膜系设计
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朱文煜
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:衍射效率 单色仪 分光 光谱数据 寄存器
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史丽娜
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 光学制造 光学结构 X射线光学
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