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任建军

作品数：3 被引量：23H指数：3
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶盛
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题：传感器 硅微结构 静电 力敏器件 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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