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汪劲松
作品数:
539
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H指数:31
供职机构:
清华大学
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合作作者
段广洪
清华大学深圳研究生院
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
刘辛军
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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刘辛军
供职机构:清华大学
研究主题:机器人 动平台 并联机器人 并联 并联机构
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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谢福贵
供职机构:清华大学
研究主题:动平台 并联 机器人 五自由度 两自由度
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叶佩青
供职机构:清华大学
研究主题:数控系统 直线电机 数控机床 多叶光栅 数控加工
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