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于卓

作品数：18 被引量：32H指数：3
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
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成步文
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅基 锗 光电探测器 探测器 电极
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余金中
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
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王启明
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅基 锗 硅 半导体材料 硅衬底
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李代宗
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SIGE/SI UHV/CVD Y SI 硅
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黄昌俊
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SIGE/SI 锗化硅 SI SI基 量子点
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雷震霖
供职机构：中国科学院
研究主题：轴承腔 真空泵 UHV/CVD 真空设备 Y
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梁骏吾
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：半导体材料 GAN MOCVD 硅 多晶硅
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王红杰
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：阵列波导光栅 波导 硅基二氧化硅 SIO 火焰水解法
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吴正龙
供职机构：北京师范大学
研究主题：XPS 离子束辅助 X射线光电子能谱 氧 硅
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赵科新
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 平板式 硅 覆膜
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