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于海涛

作品数：67 被引量：36H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许鹏程
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐铁刚
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：进样 传感器 PCR方法 高粘度 芯片结构
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刘民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈滢
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加热元件 微悬臂梁 传感器 压阻 金属氧化物
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李伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
包宇洋
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 液相检测 亚微米级 悬臂梁 环境信息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊纲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：敏感膜 镍 高阶 悬臂梁 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：芯片 观测孔 激光直写 TEM 高熵合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张志祥
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：镍 含碳 化学气相沉积法 微悬臂梁传感器 单壁碳纳米管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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