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唐敏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
李昌敏
供职机构：上海交通大学
研究主题：微结构 DEM技术 PMMA 高深宽比 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛海平
供职机构：上海交通大学
研究主题：微电感 电感量 微结构 反应离子刻蚀 磁芯材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
倪智萍
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：SU-8 微结构 高深宽比 微机电系统 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵小林
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院
研究主题：DEM技术 SU-8胶 高深宽比 光刻 毛细管电泳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱军
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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