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张卓
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19
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供职机构:
华中科技大学
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合作作者
汪学方
华中科技大学
刘胜
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刘川
华中科技大学
甘志银
华中科技大学
张鸿海
华中科技大学
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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汪学方
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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刘川
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 圆片级 键合 真空
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甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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黎藜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 人机界面 C语言 封装方法
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罗小兵
供职机构:华中科技大学
研究主题:荧光粉 白光LED 荧光粉层 微型泵 量子点
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王宇哲
供职机构:华中科技大学
研究主题:金属电极 硅 通孔 MEMS 非接触式
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徐春林
供职机构:华中科技大学
研究主题:金属电极 流量传感器 性能稳定 硅片 溅射
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徐明海
供职机构:华中科技大学
研究主题:金属电极 通孔 硅片 硅 TSV
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