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陶盛
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2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
沈绍群
复旦大学信息科学与工程学院电子...
任建军
复旦大学信息科学与工程学院电子...
马青华
复旦大学信息科学与工程学院电子...
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任建军
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:传感器 静电驱动 静电力 微机械结构 微机械
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所获资助
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沈绍群
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院
研究主题:硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
马青华
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:硅 各向异性腐蚀 压力传感器 各向异性 传感器
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