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柴杉

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:山东大学控制科学与工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

领域

  • 3个电子电信
  • 3个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个冶金工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个建筑科学
  • 1个核科学技术
  • 1个农业科学
  • 1个政治法律
  • 1个文化科学

主题

  • 3个电子束
  • 3个折板
  • 3个折板结构
  • 3个曲率
  • 3个像差
  • 3个静电偏转
  • 3个板结构
  • 2个电路
  • 2个电子束曝光
  • 2个电子束曝光机
  • 2个电子透镜
  • 2个噪声
  • 2个噪声抑制
  • 2个透镜
  • 2个曝光机
  • 2个强磁
  • 2个物面
  • 2个胶层
  • 2个补偿电路
  • 2个稳定度

机构

  • 3个山东大学

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 2个山东省自然科...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个山东省优秀中...
  • 1个山东省科技发...

传媒

  • 3个光电子.激光
  • 2个高能物理与核...
  • 2个光子学报
  • 2个微细加工技术
  • 2个山东大学学报...
  • 1个机电一体化
  • 1个机械工程学报
  • 1个电力系统自动...
  • 1个电脑与信息技...
  • 1个光学学报
  • 1个强激光与粒子...
  • 1个控制与决策
  • 1个实验室研究与...
  • 1个微计算机信息
  • 1个微纳电子技术
  • 1个第十三届全国...
  • 1个山东省自动化...
  • 1个中国自动化学...

地区

  • 3个山东省
3 条 记 录,以下是 1-3
金萍
供职机构:山东大学
研究主题:刻度 电压相量 同步电压 自动控制 变压器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹明
供职机构:山东大学
研究主题:电子束 像差 电子束曝光机 抗蚀剂 偏转系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙晓军
供职机构:山东大学
研究主题:电子束 像差 发电机功角 发电机 功角测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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