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梁德春
作品数:
63
被引量:28
H指数:3
供职机构:
北京航天控制仪器研究所
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发文基金:
山东省自然科学基金
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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理学
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机械工程
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合作作者
刘福民
北京航天控制仪器研究所
刘宇
北京航天控制仪器研究所
徐宇新
北京航天控制仪器研究所
李新坤
曲阜师范大学物理工程学院
庄海涵
北京航天控制仪器研究所
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刘福民
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
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刘宇
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 晶圆 三明治 加速度计 MEMS加速度计
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徐宇新
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
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李新坤
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:气室 原子 碱金属 碱金属原子 脉冲激光沉积
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所获资助
研究领域
庄海涵
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS陀螺 电极 刻蚀 硅 刚挠结合板
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刘国文
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
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李清山
供职机构:曲阜师范大学物理工程学院
研究主题:多孔硅 光致发光 脉冲激光沉积 荧光光谱 ZNO薄膜
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邢朝洋
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
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王占国
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:量子点 量子级联激光器 砷化镓 衬底 分子束外延
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王彩凤
供职机构:滨州学院
研究主题:多孔硅 光致发光 脉冲激光沉积 ZNS薄膜 白光发射
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