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洪海燕

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
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合作作者

人物
机构

领域

  • 3个电子电信

主题

  • 3个离子注入
  • 3个工艺技术
  • 3个光刻
  • 3个硅
  • 1个电路
  • 1个电路技术
  • 1个湿法腐蚀
  • 1个介质
  • 1个介质薄膜
  • 1个集成电路
  • 1个集成电路技术
  • 1个硅衬底
  • 1个反应离子
  • 1个衬底

机构

  • 3个无锡微电子科...

传媒

  • 3个半导体技术

地区

  • 3个江苏省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
王明善
供职机构：无锡微电子科研中心
研究主题：硅 光刻 工艺技术 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾永华
供职机构：无锡微电子科研中心
研究主题：硅 光刻 工艺技术 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑宜钧
供职机构：无锡微电子科研中心
研究主题：离子注入 反应离子 硅衬底 集成电路技术 介质薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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