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郭健辉

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 2个电气工程
  • 2个一般工业技术
  • 1个核科学技术

主题

  • 4个强流氧离子注...
  • 4个注入机
  • 4个污染
  • 4个离子
  • 4个离子源
  • 4个离子注入
  • 4个离子注入机
  • 4个金属污染
  • 4个均匀性
  • 3个离子束
  • 3个溅射
  • 2个电池
  • 2个电离
  • 2个真空室
  • 2个射频溅射
  • 2个热分析
  • 2个系统设计
  • 2个粒子污染
  • 2个晶片
  • 2个聚焦离子束

机构

  • 4个中国电子科技...
  • 4个中国电子科技...
  • 1个国防科学技术...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中华人民共和...

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家自然科学...

传媒

  • 4个电子工业专用...
  • 4个集成电路应用
  • 2个自动化与仪器...
  • 2个真空
  • 2个微细加工技术
  • 2个第十三届全国...
  • 1个半导体技术
  • 1个太阳能
  • 1个北京师范大学...
  • 1个微处理机
  • 1个第十二届全国...

地区

  • 1个湖南省
  • 1个河北省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
贾京英
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：太阳能电池 系统设计 强流氧离子注入机 SOI PLC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘咸成
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：SOI 强流氧离子注入机 SIMOX 磁控溅射 金属污染
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伍三忠
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：大角度离子注入机 离子注入机 控制系统 离子源 强流氧离子注入机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐景庭
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：强流氧离子注入机 MOCVD 氮化镓 发光二极管(LED) SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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