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唐彬

作品数：107 被引量：41H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊壮
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 MEMS 惯性开关
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许蔚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢国芬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 微加速度计 加速度计 温度稳定性 闭环
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨杰
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 微加速度计 石英 微开关 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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