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徐宝庆
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6
被引量:63
H指数:5
供职机构:
浙江大学化学系
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合作作者
王季陶
复旦大学信息科学与工程学院电子...
张卫
复旦大学信息科学与工程学院电子...
丁士进
复旦大学信息科学与工程学院电子...
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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王季陶
供职机构:复旦大学
研究主题:金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
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