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严清峰
作品数:
23
被引量:53
H指数:5
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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文化科学
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合作作者
余金中
中国科学院半导体研究所
夏金松
中国科学院半导体研究所
陈少武
中国科学院半导体研究所
刘忠立
中国科学院半导体研究所
魏红振
中国科学院半导体研究所
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余金中
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
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夏金松
供职机构:华中科技大学
研究主题:铌酸锂 SOI 干法刻蚀 脊形波导 波导
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陈少武
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 波导 刻蚀 谐振腔 电光调制器
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陈媛媛
供职机构:北京工商大学
研究主题:SOI 电工电子学 教学方法 硅基 光波导器件
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魏红振
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:集成光学 SOI 光开关 反应离子刻蚀 多模干涉耦合器
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刘忠立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI FPGA 集成电路 SIMOX 现场可编程门阵列
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吴奎
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:发光二极管 二氧化硅 蓝宝石 刻蚀 纳米
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张逸韵
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:发光二极管 蓝宝石 多量子阱 衬底 二氧化硅
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杜成孝
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:自组装 衬底 光刻版 刻蚀 小球
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研究领域
郑海洋
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:衬底 光刻版 键合强度 寄生效应 刻蚀
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